高溫高電漿密度化學氣相沉積系統零組件

這是行政院國科會國家奈米元件實驗室103辦理的政府採購案，決標金額54 萬元，由慶康科技股份有限公司得標，決標日期為2002年12月17日。

慶康科技股份有限公司還得標了7件以上的標案，包括「高密度電漿化學氣相沈積系統(HDP CVD)氣體控制系統修改壹式」等。點擊公司名稱查看完整標案紀錄。

行政院國科會國家奈米元件實驗室103還辦理了10件以上的標案，得標廠商包括愛德華先進科技股份有限公司、漢科系統科技股份有限公司、漢科系統科技股份有限公司等。