活性離子蝕刻系統管路工程

這是行政院國科會國家奈米元件實驗室103辦理的政府採購案，決標金額57 萬元，由漢科系統科技股份有限公司得標，決標日期為2002年12月11日。

漢科系統科技股份有限公司還得標了5件以上的標案，包括「奈米半導體生長實驗室增建工程」等。點擊公司名稱查看完整標案紀錄。

行政院國科會國家奈米元件實驗室103還辦理了10件以上的標案，得標廠商包括愛德華先進科技股份有限公司、慶康科技股份有限公司、漢科系統科技股份有限公司等。