STS MULTI CHAMBER ETCHER蝕刻機搬遷至南科

這是行政院國科會國家奈米元件實驗室104辦理的政府採購案，決標金額39 萬元，由慶康科技股份有限公司得標，決標日期為2002年8月28日。

慶康科技股份有限公司還得標了7件以上的標案，包括「高密度電漿化學氣相沈積系統(HDP CVD)氣體控制系統修改壹式」等。點擊公司名稱查看完整標案紀錄。

行政院國科會國家奈米元件實驗室104還辦理了9件以上的標案，得標廠商包括台灣默克股份有限公司、台灣安捷倫科技股份有限公司、双程科技股份有限公司等。