極紫外電漿源模組

這是財團法人國家實驗研究院台灣儀器科技研究中心辦理的政府採購案，決標金額950 萬元，由台灣濱松光子學有限公司得標，決標日期為2024年6月20日。

目前系統中台灣濱松光子學有限公司僅有此筆標案紀錄。

財團法人國家實驗研究院台灣儀器科技研究中心還辦理了5件以上的標案，得標廠商包括卡爾蔡司股份有限公司、百智捷科技有限公司、智林企業股份有限公司等。