化學機械研磨系統(CMP)壹式

這是財團法人國家實驗研究院奈米元件實驗室辦理的政府採購案，決標金額4950 萬元，由逸典科技股份有限公司得標，決標日期為2017年6月19日。

目前系統中逸典科技股份有限公司僅有此筆標案紀錄。

財團法人國家實驗研究院奈米元件實驗室還辦理了6件以上的標案，得標廠商包括新加坡商應用材料股份有限公司、勤友光電股份有限公司、優材科技有限公司等。