射頻電漿源1組及鉗鍋、氮氣源、鋁鉗鍋各1個

這是國立中山大學總務處事務組辦理的政府採購案，決標金額100 萬元，由台灣威科儀器股份有限公司得標，決標日期為2006年4月11日。

台灣威科儀器股份有限公司還得標了10件以上的標案，包括「旋轉蝕刻機」等。點擊公司名稱查看完整標案紀錄。

國立中山大學總務處事務組還辦理了10件以上的標案，得標廠商包括億東電料有限公司、昇航股份有限公司、昇航股份有限公司等。