電子束微影系統維護合約

這是國家奈米元件實驗室辦理的政府採購案，決標金額249 萬元，由捷歐股份有限公司得標，決標日期為2003年3月5日。

捷歐股份有限公司還得標了5件以上的標案，包括「94年度電子束光罩製作系統維修服務」等。點擊公司名稱查看完整標案紀錄。

國家奈米元件實驗室還辦理了10件以上的標案，得標廠商包括今日儀器股份有限公司、國眾電腦股份有限公司、科榮股份有限公司等。