濕式蝕刻機之附屬晶圓旋乾機

這是國家奈米元件實驗室辦理的政府採購案，決標金額54 萬元，由瑞耘科技股份有限公司得標，決標日期為2003年4月25日。

瑞耘科技股份有限公司還得標了3件以上的標案，包括「晶片旋乾機」等。點擊公司名稱查看完整標案紀錄。

國家奈米元件實驗室還辦理了10件以上的標案，得標廠商包括今日儀器股份有限公司、國眾電腦股份有限公司、科榮股份有限公司等。