超高真空磁控濺鍍系統

這是中央研究院辦理的政府採購案，決標金額1153 萬元，由富臨科技工程股份有限公司得標，決標日期為2020年12月16日。

富臨科技工程股份有限公司還得標了10件以上的標案，包括「離子蝕刻機一台」等。點擊公司名稱查看完整標案紀錄。

中央研究院還辦理了10件以上的標案，得標廠商包括財團法人生物技術開發中心、鴻洺科技有限公司、阜爾運通股份有限公司等。